系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一

*1：靜態(tài)精度或可稱為同點(diǎn)位多次連續(xù)測量的最大偏差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果

*2：多次取放測量同點(diǎn)位數(shù)據(jù)的最大三倍標(biāo)準(zhǔn)差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果